GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
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时间:2024-05-13 09:16:42
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基本信息
| 标准名称： | 硅多晶真空区熔基硼检验方法 |
| 英文名称： | Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属化学分析方法 >> 半金属及半导体材料分析方法 |
| ICS分类： | 冶金 >> 金属材料试验 >> 金属材料试验综合 |
| 替代情况： | 替代GB/T 4060-1983 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2007-12-18 |
| 实施日期： | 2008-02-01 |
| 首发日期： | 1983-12-20 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： | 峨眉半导体材料厂 |
| 起草人： | 罗莉萍、梁洪、覃锐兵、王炎、王向东 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2008-02-01 |
| 页数： | 8页 |
| 计划单号： | 20031797-T-610 |
适用范围
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的试验。
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所属分类： 冶金 金属化学分析方法 半金属及半导体材料分析方法 冶金 金属材料试验 金属材料试验综合
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